ESA100W（荏原 EBARA 干式真空泵）

核心參數(shù)

• 抽氣速度：10000 L/min（50Hz）/12000 L/min（60Hz）

• 極限真空：0.6 Pa（2.7×10?3 mbar）

• 進(jìn)氣口：ISO80；排氣口：NW40

• 功率：最大 5.2kW，極限壓力 3.4kW

• 冷卻方式：水冷，最小冷卻水流量 3.5 L/min

• 尺寸：1041×400×810 mm；重量：約 400kg

• 氮?dú)獯祾撸狠S承密封 12 L/min

核心特點(diǎn)

1. 兩級(jí)羅茨結(jié)構(gòu)，氫氣 / 輕氣體排氣性能行業(yè)

2. 智能轉(zhuǎn)速控制，適配大氣體負(fù)載，耐惡劣工藝氣體

3. 水冷設(shè)計(jì)，適合連續(xù)長時(shí)間運(yùn)行

4. 可選耐腐蝕材質(zhì)、有機(jī)溶劑排氣配置

5. 帶報(bào)警、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、可編程參數(shù)設(shè)置

主要應(yīng)用

• 半導(dǎo)體：MO?CVD、PVD、刻蝕、鍍膜

• 光伏、LED、FPD 面板制程

• 氫氣工藝、大型真空腔體、真空干燥

• 化工、精密真空設(shè)備